截至6月23日10:04，中證半導體材料設備主題指數強勢上漲2.92%，成分股中晶科技漲停，中科飛測上漲6.30%，拓荊科技上漲5.13%，中微公司，安集科技等個股跟漲。半導體材料ETF（562590）上漲2.85%，盤中一度漲超3%，沖擊4連漲。最新價報1.08元。

東方證券認為，國內晶圓制造廠和存儲器廠商為保障供應鏈安全與產能建設節奏，將更有動力并加大力度采購國產替代產品。這不僅體現在成熟制程產能的持續擴張上，更將逐步向先進制程的關鍵環節滲透。對設備廠商而言，關鍵半導體制造環節的國產驗證與導入機會將顯著增多；材料領域，光刻膠、電子特氣、濕化學品、靶材、拋光材料等的本土化進程有望提速；而EDA作為芯片設計的基石，其全流程工具鏈的國產化需求也將變得更加迫切和剛性。

半導體材料ETF（562590）緊密跟蹤中證半導體材料設備主題指數，該指數精選40只業務深度覆蓋半導體材料與半導體設備領域的上市公司證券作為樣本。指數成分股中匯聚了多家在國產替代進程中表現突出的龍頭企業——例如在刻蝕設備領域實現技術突破的北方華創、中微公司，以及在硅片、電子化學品等關鍵材料環節打破海外壟斷的滬硅產業、南大光電等，樣本股的篩選既聚焦行業核心賽道，充分體現了半導體產業鏈自主化升級的發展趨勢，反映半導體材料和設備上市公司證券的整體表現。

數據顯示，截至2025年5月30日，中證半導體材料設備主題指數前十大權重股分別為北方華創、中微公司、滬硅產業、南大光電、華海清科、拓荊科技、長川科技、鼎龍股份、TCL科技、安集科技，前十大權重股合計占比61.33%。