截至2025年9月17日 10點17分，上證科創板半導體材料設備主題指數強勢上漲2.51%，成分股中巨芯上漲20.00%，中芯國際上漲7.03%，新益昌上漲4.48%，安集科技，華峰測控等個股跟漲。科創半導體ETF（588170）上漲2.64%， 沖擊6連漲。最新價報1.24元。拉長時間看，截至2025年9月16日，科創半導體ETF（588170）近1周累計上漲5.58%。流動性方面，科創半導體ETF（588170）盤中換手19.91%，成交1.28億元，市場交投活躍。規模方面，科創半導體ETF（588170）最新規模達6.33億元，創成立以來新高。份額方面，科創半導體ETF（588170）近2周份額增長7000.00萬份，實現顯著增長。資金流入方面，科創半導體ETF（588170）最新資金流入流出持平。拉長時間看，近10個交易日內有7日資金凈流入，合計“吸金”9585.64萬元，日均凈流入達958.56萬元。

消息面上，早盤光刻機概念活躍帶動半導體設備板塊走強，波長光電、永新光學雙雙漲停，蘇大維格、茂萊光學等個股漲幅超5%，市場對半導體設備國產化替代預期升溫，與科創半導體ETF（588170）重倉的安集科技、拓荊科技等半導體材料設備個股形成聯動效應。

招商證券則強調海內外AI算力芯片高景氣延續，存儲等板塊邊際復蘇趨勢向上，國內算力芯片公司業績持續釋放，寒武紀定增獲批、海光推進收并購，同時2026年國內偏先進產線擴產有望提速，將帶動設備板塊訂單預期及國產化替代進程。兩家機構均聚焦半導體產業鏈國產化與景氣復蘇主線，與目標產品投資范圍高度相關。

相關ETF：公開信息顯示，科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，囊括科創板中半導體設備（59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（59%）、半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。